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净化工程主要关于流量和通风量，重要的问题是，规范需求终端HEPA过滤器以90FPM的速度作业或检查无技术支撑，甚至有害，室内均匀流带过高构成障碍流，构成涡流，因此半导体作业中的ISO1级或2级净化室基本上采用75FPM的流速，净化室和过滤器的流速坚持在90FPM中
实际上，过滤速度低的过滤器的表现强于速度高，过滤器沿面流速与净化室的功能无关，实际上室内微粒浓度和空气传递的生物负荷水平在作业中不变。
另外，计划能够达到适当流速和通风率的系统非常重要，最初在过滤器上投入比较高的成本和长时间的电力作业成本一样重要，很多净化室在制作时没有考虑到需要更多的电力和所以追加的产品的生产成本，只是追加过滤器数量的效果
二、小型化的倾向。
随着纳米技术的生产时间的进入，生产空间和生产设备的规范越小，持续清洁的空间也越小，可以通过各种方法增加灵活性，节约成本。
许多公司一方面希望得到更有用的净化室，另一方面寻找减少功耗的方法，正确规划空气活动，减少清洁区域需求的清洁空气总量，是减少初步成本和作业成本的有用方法，跟随HEPA和ULPA的过滤功率，用户对过滤功率的需求减少，现在的用户重视分析在净化室不同区域内实践需求的过滤水平，一个重要的趋势是不使用大空间清洁，而是在无尘工厂设置清洁区域
另外，设备和过滤器制造商强烈开发功能强、省电、体积小的鼓风机，气流通过过过滤器进入房间时构成压力下降，需要通过鼓风机和空气调节设备恢复，只需稍微降低压力就可以减少一部分电费，特别是鼓风机的电费
选择过滤哭泣时，应优先选择符合过滤功率需求和压降最小的过滤器，测量过滤器的报价和功能时，功率和压降是关键，其他因素选择HEPA和ULPA过滤器整体的收集功率，其间包括空气过滤、速度、微粒度和过滤媒体的特征，总的来说，收集功率是过滤速度的降低和微粒度的规范的增大